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工业超纯水系统
1、预处理系统
1.1多介质过滤器
多介质过滤器利用石英砂、无烟煤滤料、锰砂等不同介质及滤材，配合专用过滤设备，可将原水中的所有 微粒、悬浮物、能见之沉淀物及泥垢过滤系统配置完善的保护装置和监测仪表,且具有反冲洗功能，泥垢等污染物很快被冲走，耗水量少，具全自动功能。
多介质过滤器主要技术特性
| 工作压力（MPa) | ≤0.6 | 出水浊度(mg/L) | 0.5～3 | |
| 工作温度（℃） | 5～50 | 反洗强度(L/m2.s) | 石英砂 | 15～18 |
| 运行流速（m/h） | 8～12 | 无烟煤 | 10～12 | |
| 进水浊度（mg/h） | ≤20 | 多介质 | 12～16 | |
1.2活性炭过滤器
活性炭过滤系统是利用活性炭的强吸附能力能有效除去水中的臭味、色素、余氯、胶体粒子及有机物等。
活性炭过滤器主要技术特性
| 工作压力(Mpa) | ≤0.6 | 滤料层高(mm) | 1500~2000 |
| 工作温度(℃) | 5~50 | 进水耗氧量(mg/L) | 5 |
| 运行流速(m/h) | 8~12 | 出水耗氧量(mg/L) | 2 |
| 进水浊度(mg/L) | ≤5 | 备注 | 椰壳活性碳 |
1.3 软水器 Water softener
软水器主要是用于水处理中去除水中的Ca2+,Mg2+以降低水中硬度。现一般采用的是自动软水器设备，实现离子交换和树脂再生的自动化，高效化。可广泛应用于电子、工业锅炉、食品及制药行业。
对于全自动的软水器还有以下特点:
（1）软水器经安装调试后只需人工定期添加再生用盐，就可实现稳定连续产水
（2）工作交换容量大、盐耗低及电耗低
（3）抗腐蚀和抗污染
（4）运行稳定，可靠
（5）结构设计合理，适用性广泛
2、反渗透系统
反渗透装置
反渗透是1960年美国加利福尼亚大学的洛布(Loeb)与素里拉简(Sourirtajan)发明的一项高新膜分离技术，其孔径很小，大都≤10×10-10（10A），它能去除滤液中的离子范围和分子量很小的有机物，如细菌、病毒、热源等。它已广泛用于海水或苦咸水淡化、电子、医药用纯水、饮用蒸馏水、太空水的生产，还应用于生物、医学工程。
反渗透亦称逆渗透（RO）是用一定的压力使溶液中的溶剂通过反渗透膜（或称半透膜）分离出来。因为它和自然渗透的方向相反，故称反渗透。根据各种物料的不同渗透压，就可以使大于渗透压的反渗透法达到分离、提取、纯化和浓缩的目的。
反渗透设施生产纯水的关键有两个，一是一个有选择性的膜，我们称之为半透膜，二是一定的压力。简单地说，反渗透半透膜上有众多的孔，这些孔的大小与水分子的大小相当，由于细菌、病毒、大部分有机污染物和水合离子均比水分子大得多，因此不能透过反渗透半透膜而与透过反渗透膜的水相分离。在水中众多种杂质中,溶解性盐类是最难清除的.因此,经常根据除盐率的高低来确定反渗透的净水效果.反渗透除盐率的高低主要决定于反渗透半透膜的选择性。目前，较高选择性的反渗透膜元件除盐率可以高达99.75%。
反渗透主要去除水中溶解盐类、有机物、二氧化硅胶体、大分子物质及预处理未去除的颗粒物等。
3、EDI装置
EDI是一种具有革命性意义的新型“绿色脱盐”超纯水制备技术。是放置在反渗透系统后的二次除盐设备，它可以制取 15~17MΩ.CM的超纯水。EDI模块的再生无需任何化学药剂，可以连续运行。再生时，只需要调节EDI的运行电流即可。因此广泛应用于微电子、半导体、发电厂、制药和实验室等领域。
EDI的工作原理
EDI利用混和离子交换树脂吸附水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被去除。 下图显示的是两个淡水室和一个浓水室离子交换过程。 面向正极的阴离子交换膜与面向负极的阳离子交换膜之间构成淡水室；面向负极的阴离子膜与面向正极的阳离子膜之间组成浓水室。在淡水室和浓水室中间夹着阴、阳离子树脂，当水从淡水室和浓水室流过时，离子交换树脂就吸附了水中的离子，在EDI模块两端的电极提供了横向的直流电场，直流电场驱动离子交换树脂所吸附的离子穿过离子交换膜，其结果是降低了淡水室中水的离子浓度和增加了浓水室中水的离子浓度，从而使得淡水室中水的纯度越来越高。
EDI系统与混床系统比较
| 序号 | EDI | 混 床 |
| 一 | 运行费用 |
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| 运行费用低 | 运行费用高 | |
| 二 | 化学物质的使用 | |
| 不需要化学物质。 | 需酸、碱化学再生药剂。 | |
| ，环保型技术。 | 需清洗，有废水排放。 | |
| 三 | 性能指标 | |
| 24 小时连续运行，水质稳定，电阻率15~18MΩ.CM 。 | 需要停机再生，离子容易泄漏而影响出水水质。 | |
| 任一模块需要维修时，整个系统的运行不受影响，其负荷只需要分配到剩余模块中即可。 | 需要停机维修。 | |
| 四 | 操作控制的难易 | |
| 系统设计简单，操作方便，只需要调节电流。 | 配备多名操作人员，操作程序复杂。 | |
| 五 | 其他优势 | |
| 对车间规格无特别要求，占用空间少。 | 混床及其辅助设施占用空间大。 | |
| 整套设备在一个滑架内，安装只需通水和供电，即可投入使用。 | 需安装多个配套设备。 | |
| 采用模块化设计，容易扩展。 | 不能满足用户未来的扩展需求。 | |
EDI系统特点：
1)系统无浓水循环不须加盐，结构简单；
2)智能化整流电源充分发挥模块技术性能，安全可靠；
3)淡水树脂分层技术使非导电离子迁移，出水品质高；
4)成熟的回流技术减小前段波动影响，出水品质稳定；
5)丰富的现场经验优化管道布置技巧，便于使用维护；
6)特殊的密封工艺和优良的膜性能，延长了使用寿命；
标准化的规范工艺，降低设备维护和人员培训成本
超纯水系统工艺流程图
